製品紹介
RMSテクノロジー(株)

P003 SMD + RSRM-X

HOME製品紹介P003 SMD + RSRM-X

P003SMD + RSRM-X

High effective rubber mount assembly

超精密半導体及びTFT-LCD工場に使用される高精度測定・検査装置に安定的に適用的る振動切縁システム

製品概要

RSRM-Xは荷重に対して発生する圧縮変形と剪断変形を最適化する形状設計によってシステムの固有振動数を6Hz 水準で構成することができる高効率防振ゴムマウントである。定格荷重に対して10㎜の静的たわみ(固有振動数5Hz) が発生するように設計されており線形区間が15㎜以上となっていて設計余裕が十分な製品である。水平方向の剛性も垂直方向剛性と均衡が取れていて超精密半導体及びTFT-LCD生産工場にて主に適用されている製品である。RSRM-Xを定格荷重で設計する場合、20Hzの外部振動に対する遮断率は97%、30Hzの外部振動に対する遮断率は99%水準になる。RSRM-XはSMDと結合して使用されSMDは内部に有圧装置が内蔵されていてDynamic Damperの役割を果たせる。大型Scanning typeの露光装置のように自体衝撃振動による除振台の応答が過剰に発生する場合、SMDが転移振動を抑える役割をする。



カタログダウンロード
RMS-Meiritz
Smart-VS
top