製品紹介
RMSテクノロジー(株)

P002 Micro-AM

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P002Micro-AM

High effective isolation equipment with air spring

半導体及び TFT-LCD 工場で使用される Nano級超精密装置用の振動制御システム

製品概要

Micro-AM システムは固有振動数が 1.8Hz 以下の振動切縁システムとして半導体及び TFT-LCD 工場で使用される Nano級超精密測定/検査装備に安定的に適用できるように設計されてある。本システムは超精密測定/検査装備だけではなく下部構造物及び除振台で発せられる振動が上部装置に及ぶ影響を安定的に最小化できるシステムである。装置の動荷重及び外部振動の特性によってシステムの固有振動数を調整することができ、垂直振動切縁の特性だけではなく水平振動切縁性能も優れている。そして装置の動的安定性を確保するために振り子式の支持構造で設計されてある。装置の振動許容値と動特性、荷重、動荷重による当社の測定/評価を基盤とする最適設計によるオーダーメイドも可能である。



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