製品紹介
RMSテクノロジー(株)

P001 Micro - MR AM

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P001Micro - MR AM

Intelligent vibration control and isolation system with MR damper

半導体及び TFT-LCD 高精密装置の振動制御システム用の Semi-acitve Typeの防振材

製品概要

Micro-MRAMは構造物から伝播される振動を画期的に遮断し半導体及びTFT-LCD工場で使用される超精密生産及び検査装備に適したシステムである。特に内装されたMRダンパーは能動制御方法で除振台の振動を制御することで外部の振動遮断と装置の振動制御を同時に行う先端の防振/除振システムである。Micro-MRAMは装置の大型化と加工/検査精密度向上による厳しい振動許容規制値を改善させるだけではなく、装置自体から発せられる動的荷重を効果的に制御し装置の支持部のマイクロ並みの静的バランシングによる動的安全性を確保することで、生産/検査装備の内外部の振動トラブルによる製品の歩留まり及び生産性を極大化させる超精密振動制御システムである。



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