事業紹介
RMSテクノロジー(株)

超精密振動制御

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半導体、FPD超精密装置振動制御事業分野

超精密工場(Fab.)振動設計及び精密装置振動制御
微振動制御及び設計
  • 超精密工場(Fab.)構造物動的設計


    - 初期Concept設計
    - ファイル及び基礎構造設計
    - 振動設計目標値による骨組み構造物設計
    - 超精密装置配置による振動制御及び設計
    - 設備、ダクト、配管ラインの防振設計
  • 超精密研究所及び実験室振動制御設計

  • 既存超精密工場リフォーム及びCapa-UP設計



応用分野
  • OLED,LCD、LED,PDP工場(Fab.) 構造物動的設計

  • 半導体工場構造物動的設計

  • 研究所内の精密顕微鏡及び計測装置の設置のための振動制御設計

  • 既存超精密工場のリフォーム及びCapa-UP設計



遂行実績
  • SAMSUNG、OLEDA2,A3工場プロジェクト

  • SAMSUNG中国蘇州LCD工場プロジェクト

  • SAMSUNG、LCD7,8Line工場プロジェクト

  • LGディスプレイLCDP9工場プロジェクト

  • LGディスプレイ中国広州LCD工場プロジェクト

  • LGディスプレイLCDP4,P5,P6,P7,P8工場プロジェクト

  • SKハイニックス半導体韓国利川M14 工場プロジェクト

  • SKハイニックス半導体韓国淸州M11, M12工場プロジェクト

  • エムココリアK5 工場プロジェクト

  • 中国BOE、OLEDB6工場プロジェクト

  • 中国BOE、LCDB8工場プロジェクト

  • 中国BOE、LCDB1~B5工場プロジェクト






精密検査・生産装置及び研究用分析室振動制御
振動測定及び評価、低減対策設計
  • 精密検査・生産装置振動制御


    - 振動元、伝達特性測定
    - 動的解析による分析および評価
    - 最適振動対策案設計及び提案最適振動対策案設計及び提案
  • 研究用実験室及び分析室振動制御設計

  • 手術室振動制御設計及び医療用ロボット振動制御



応用分野
  • 振動問題が発生した検査・生産装置振動測定及び評価

  • 高倍率光学装置振動制御(SEM,TEM、AFM,E-Beamなど)

  • CR内の振動元(STK、AGV, OHT)に対する制御

  • 渦動な振動誘発設備(SMT, PRESSなど)に対する制御



遂行実績
  • 韓国現代自動車の南陽研究所開発実験棟プロジェクト

  • 研究団地(R3~R5、DSR,素材団地)プロジェクト

  • 韓国電気研究院の密陽名のセンター露光装置振動制御

  • SDC3AOHT(セメス)振動影響性評価

  • 大邱キョンブ化学技術院プロジェクト

  • 全北ナノ集積センタープロジェクト

  • 韓国科学技術院ナノ総合Fab.プロジェクト

  • 未来産業SMT装置動荷重及び振動評価

  • SAMSUNG中国蘇州LCDSMT設備増設プロジェクト

  • LGディスプレイM2STK振動影響性評価

  • ドンヒ産業韓国金泉工場プレス棟プロジェクト

  • 医療用ロボット振動測定及び評価



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